從智能手機(jī)到產(chǎn)業(yè)機(jī)器人，再到超級(jí)計(jì)算機(jī)，隨著應(yīng)用范圍不斷增加，半導(dǎo)體行業(yè)在蓬勃發(fā)展的同時(shí)，其制程工藝也不斷快速提升。然而，無(wú)論工藝如何改進(jìn)，都離不開(kāi)鹽酸、氫氧化鈉溶液、過(guò)氧化氫溶液，以及乙醇，丙酮等各類(lèi)高純化學(xué)品的使用。
這些高純化學(xué)品具有強(qiáng)腐蝕性等特性，在其輸送系統(tǒng)材質(zhì)的選擇上，必須慎之又慎。PFA因擁有出色的物化性能而被選中，它們具有抗酸抗堿、抗各種有機(jī)溶劑、耐腐蝕等特點(diǎn)，被視為半導(dǎo)體制程中化學(xué)品輸送系統(tǒng)的理想材料。
例如，在半導(dǎo)體的CMP工藝中，輸送系統(tǒng)的部件就可選用PFA材質(zhì)。CMP又稱(chēng)化學(xué)機(jī)械拋光，它能均勻地把硅片拋光為需要的厚度和平坦度。作為一種特殊的化學(xué)研磨液，由二氧化硅等微小顆粒懸浮在液體中形成的懸浮液，其供應(yīng)系統(tǒng)將持續(xù)為CMP提供制程所需的化學(xué)研磨液，一旦系統(tǒng)出現(xiàn)異常，會(huì)對(duì)CMP制程造成嚴(yán)重?fù)p失。
因此，研磨液輸送系統(tǒng)對(duì)閥門(mén)的選用要求嚴(yán)格。比市場(chǎng)上同類(lèi)產(chǎn)品相比，派克漢尼汾旗下的 22系列PFA膜閥，能更好地符合用戶(hù)需求。
雙密封點(diǎn)
研磨液有易結(jié)晶的特性，一旦在閥座密封處形成結(jié)晶，就會(huì)影響閥門(mén)的關(guān)閉功能，造成泄漏故障。因此，22系列膜閥采用膜片密封形狀設(shè)計(jì)，形成雙密封點(diǎn)，能有效控制這類(lèi)故障。在閥門(mén)關(guān)閉時(shí)的應(yīng)力測(cè)試圖中，可以觀察到雙密封點(diǎn)，如果其中一處密封點(diǎn)失效，另一處密封點(diǎn)還將繼續(xù)工作，從而提高閥門(mén)的工作壽命。第三方的測(cè)試數(shù)據(jù)也很好地證明了這一點(diǎn)：在輸送鹽酸和硫酸時(shí)，工作壽命超過(guò)210萬(wàn)次；輸送純水時(shí)，超過(guò)300萬(wàn)次；輸送研磨液時(shí)，雙密封點(diǎn)的效果明顯，在系統(tǒng)無(wú)故障的條件下，工作壽命超過(guò)210萬(wàn)次。
滑梯狀流道
目前市場(chǎng)上應(yīng)用于研磨液閥門(mén)多數(shù)采用內(nèi)部無(wú)死角的自排放結(jié)構(gòu)，使閥門(mén)在不使用時(shí)能夠排空。22系列膜閥采用滑梯狀流道設(shè)計(jì)，一定程度上減少了流體在閥門(mén)內(nèi)部的停留時(shí)間，同時(shí)減小流體對(duì)閥體不同部位的應(yīng)力差，從而有效延長(zhǎng)閥體的壽命。
