2025 年 4 月 10 - 11 日，歐洲 CMP 和 WET 用戶組春季會議在比利時魯汶舉行，SONOTEC 作為參展商參會，展示為半導(dǎo)體行業(yè)開發(fā)的 SEMIFLOW® 傳感器系列，用于非接觸式液體流量測量。該系列傳感器可用于晶圓生產(chǎn)和加工多個環(huán)節(jié)，具有緊湊堅固、非接觸測量、低功耗等優(yōu)點(diǎn)，還有適用于潛在爆炸環(huán)境的型號，此次會議為 SONOTEC 提供了與行業(yè)專家交流、適應(yīng)市場需求的機(jī)會。
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會議概況
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名稱：歐洲 CMP 和 WET 用戶組春季會議
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時間：2025 年 4 月 10 - 11 日
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地點(diǎn)：比利時魯汶 imec 研發(fā)中心
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主題：聚焦化學(xué)機(jī)械平坦化 / 拋光（CMP），涉及技術(shù)、新應(yīng)用、計量、過程控制等討論
2. 內(nèi)容
歐洲CMP和WET用戶組春季會議將于2025年4月10日至11日在比利時魯汶舉行。作為參展商，SONOTEC 將展示其用于非接觸式液體流量測量的 SEMIFLOW® 傳感器系列。
在4月10日和11日于比利時魯汶舉行的歐洲CMP和WET用戶組會議上，SONOTEC將繼續(xù)作為參展商參加這一系列活動。這家超聲波流量傳感器專家將展示其專門為半導(dǎo)體行業(yè)開發(fā)的 SEMIFLOW 傳感器系列。與工業(yè)用 SONOCHECK 氣泡檢測器一起，結(jié)構(gòu)緊湊的 SEMIFLOW 流量傳感器可用于晶片生產(chǎn)和加工的各個工藝步驟。
魯汶會議的重點(diǎn)是化學(xué)機(jī)械平坦化/拋光（CMP），為討論技術(shù)、新應(yīng)用、計量學(xué)、工藝控制等問題提供了**的機(jī)會。對于 CMP 專業(yè)人士來說，這次會議是討論**和交流經(jīng)驗(yàn)的理想場所。
“在全球挑戰(zhàn)和對**技術(shù)日益增長的需求的推動下，半導(dǎo)體市場充滿活力和挑戰(zhàn)。盡管市場環(huán)境動蕩不安，但我們?nèi)猿晒柟塘俗约旱氖袌龅匚?。通過戰(zhàn)略投資、緊密的合作伙伴關(guān)系和高水平的**，我們得以保持在半導(dǎo)體行業(yè)的增長。SONOTEC 國際戰(zhàn)略和銷售經(jīng)理 Anika Baumhauer 解釋說："特別是，歐洲 CMP 和 WET 用戶組會議等活動為我們提供了與行業(yè)專家交流的**機(jī)會，使我們的傳感器技術(shù)能夠更好地適應(yīng)半導(dǎo)體市場的需求。
SONOTEC 開發(fā)的 SEMIFLOW 系列流量傳感器結(jié)構(gòu)緊湊、堅固耐用，可有效測量和監(jiān)控工廠內(nèi)和特定工藝中化學(xué)品和其他液體的傳輸和分布情況。例如，傳感器可用于測量 CMP 工藝中的漿料供應(yīng)量，或監(jiān)測濕式工作臺生產(chǎn)線中蝕刻工藝的填充量。流量或體積通過夾持式結(jié)構(gòu)從行業(yè)專用的硬質(zhì)塑料管和管道外部確定，消除了任何污染或泄漏風(fēng)險。
傳感器材料堅固耐用，產(chǎn)品使用壽命長，功耗極低，運(yùn)行成本低。因此，非接觸式流量計可為工廠的可持續(xù)發(fā)展戰(zhàn)略做出貢獻(xiàn)。SEMIFLOW 傳感器的另一個特點(diǎn)是外殼設(shè)計緊湊，集成了電子元件。它們只需要很小的廠房空間，并且可以很容易地集成到現(xiàn)有的工藝鏈和架構(gòu)中。SONOTEC 提供各種尺寸的 SEMIFLOW 系列產(chǎn)品，以涵蓋各種直徑的 PFA、PTFE 和其他硬塑料管道。
SONOTEC 提供 SEMIFLOW CO.66 PI Ex1 傳感器系列，用于潛在爆炸環(huán)境中的流量測量。本安型超聲波流量計的設(shè)計符合 ATEX/IECEx 標(biāo)準(zhǔn)，可在 1 區(qū)生產(chǎn)區(qū)域**運(yùn)行。傳感器根據(jù) IIB 氣體組別標(biāo)準(zhǔn)提供防爆保護(hù)；設(shè)備保護(hù)級別 (EPL) 為 “Gb”。
SONOTEC 將于 2025 年 4 月 10 日至 11 日在比利時魯汶 imec 研發(fā)中心舉行的歐洲 CMP 和濕式用戶組會議期間與您見面。
